仪器设备
发布时间：2026-07-01
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- 发布时间：
- 2026-07-01
- 文章标题：
- 仪器设备
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- 新器件实验室拥有一条专门研制和小规模生产硅基半导体探测器的1英寸至4英寸工艺流水线，洁净实验室面积200m²，洁净室级别为万级至百级。 实验室拥有TCAD半导体器件模拟软件以及较为全面的研制硅探测器的工艺技术，包括清洗、光刻、湿法和干法腐蚀、氧化、常规和快速退火等。 实验室还拥有半导体材料表征、探测器测试、封装以及光谱测量与应用等实验条件。
- 内容：
